洁净度级别
|
悬浮粒子最大允许数/立方米
|
|||
静态
|
动态(3)
|
|||
≥0.5μm
|
≥5.0μm(2)
|
≥0.5μm
|
≥5.0μm
|
|
A级(1)
|
≤3500
|
≤20
|
3500
|
20
|
B级
|
≤3500
|
≤29
|
350000
|
2900
|
C级
|
≤350000
|
≤2900
|
3500000
|
29000
|
D级
|
≤3500000
|
≤29000
|
不作规定
|
不作规定
|
300,000级
|
≤10500000
|
≤60000
|
不作规定
|
不作规定
|
洁净级别
|
空气样
(浮游菌)
cfu/m3
|
微生物污染限度标准
|
||
沉降碟(Φ90mm)
cfu/4小时
|
接触碟(Φ55mm)
cfu/碟
|
5指手套
cfu/手套
|
||
A级
|
<1
|
<1
|
<1
|
<1
|
B级
|
10
|
5
|
5
|
5
|
C级
|
100
|
50
|
25
|
----
|
D级
|
200
|
100
|
50
|
----
|
注:1、细菌在30℃∽35℃条件下培养3天。2、表中各数值均为平均值。3、300,000级可参照D级执行。
|
洁净级别
|
气流方式
|
送风量
|
|
按房间断面风速(m /s)
|
按换气次数(次/ h)
|
||
A级
|
单向流(出口产品)
|
0.36—0.54
|
----
|
B级
|
乱流(非单向流)
|
--
|
40---60
|
C级
|
乱流(非单向流)
|
--
|
≥25
|
D级
|
乱流(非单向流)
|
--
|
≥15
|
300,000级
|
乱流(非单向流)
|
--
|
≥12
|
面积(S)m2
|
洁 净 度 级 别
|
|||
100(A)级
|
1000(B)级
|
10,000(C)级
|
100,000(D)级
|
|
S<10
|
2-3
|
2-3
|
2
|
2
|
10≤S<20
|
4
|
4
|
2
|
2
|
20≤S<40
|
8
|
6
|
2
|
2
|
40≤S<100
|
16
|
10
|
4
|
2
|
100≤S<200
|
40
|
14
|
10
|
3
|
200≤S<400
|
80
|
20
|
20
|
6
|
400≤S<1000
|
160
|
60
|
40
|
13
|
1000≤S<2000
|
400
|
200
|
100
|
33
|
S≥2000
|
800
|
400
|
200
|
63
|
注:对于A级的单向流无尘室(区),包括A级洁净工作台,面积指的是送风口表面积;对于非单向流无尘室(区),面积指的是房间面积。300,000级的采样点数可参照D级要求制定。
|
最小采样量
L/次
|
洁净度级别
|
|||
A级
|
B级
|
C级
|
D级
|
|
≥0.5μm
|
5.66
|
5.66
|
2.83
|
2.83
|
≥5.0μm
|
8.5
|
8.5
|
8.5
|
8.5
|
洁净度级别
|
采样量,L/次
|
A级
|
1000
|
B级
|
1000
|
C级
|
500
|
D级
|
100
|
注300,000级可参照D级执行
|
洁净级别
|
静态警戒限
|
动态警戒限
|
||||
≥0.5μm
|
≥5.0μm
|
≥0.5μm
|
≥5.0μm
|
|||
A级
|
粒/立方米
|
2800
|
16
|
3200
|
16
|
|
B级
|
粒/立方米
|
2800
|
25
|
320000
|
2500
|
|
C级
|
粒/立方米
|
280000
|
2500
|
3200000
|
25000
|
|
D级
|
粒/立方米
|
2800000
|
25000
|
未规定
|
未规定
|
|
300,000级
|
粒/立方米
|
8400000
|
55000
|
---
|
---
|
|
洁净级别
|
空气样
cfu/m3
|
微生物污染警戒限度
|
||
沉降碟(Φ90mm)
cfu/4小时
|
接触碟(Φ55mm)
cfu/碟
|
5指手套
cfu/手套
|
||
A级
|
--
|
--
|
--
|
--
|
B级
|
4
|
2
|
2
|
3
|
C级
|
45
|
20
|
10
|
----
|
D级
|
90
|
45
|
20
|
----
|
洁净级别
|
空气样
cfu/m3
|
微生物污染纠偏限度
|
||
沉降碟(Φ90mm)
cfu/4小时
|
接触碟(Φ55mm)
cfu/碟
|
5指手套
cfu/手套
|
||
A级
|
--
|
--
|
--
|
--
|
B级
|
8
|
4
|
4
|
4
|
C级
|
90
|
40
|
20
|
----
|
D级
|
180
|
90
|
40
|
----
|
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